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真空系统

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三工位阴极转移系统

产品特点

  • 该设备为国内首台套设备,是光电倍增管出产造作主题工艺设备,可同时实现3只20″倍增管阴极激活与转移、MCP清刷和铟封等关键工序,突破日本企业持久国际垄断职位。
  • 该设备是集高真空、高温及多种活动方式于一体的大型复杂真空系统,其出产造作的光电倍增管已用于山南中微子尝试室和高海拔宇宙线观测站等微观粒子探测、高能物理钻研领域。

利用领域

微观粒子探测、高能物理
  • 技术指标
  • 尺寸
  • 产品个性
  • 配件
  • 下载
  • 個封顶升力
    0-100N
    定位精度
    0.02°
  • 坡壳旋转快率
    0-3rpm
    电子枪组件平移活动快率
    0-500mm/min ,沉复定位精度±1.5mm
  • MCP组件垂直活动快率
    0-500mm/min ,沉复定位精度:±1.5mm
    阴极组件垂直活动快率
    0-500mm/min ,沉复定位精度:±1.5mm
  • 温度均匀性
    ±2.5℃
    除气加热温度
    400℃
  • 工作真空
    5×10E-5Pa
    极限真空
    5×10E-6Pa
    文件名 类型 说话 日期 文件大幼

    有关案例

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