“分析仪器”蕴含所有必要在真空环境下进行分析的所有利用，如电子显微韭符用真空环境下分歧粒子的散射成像对物质表表微区描摹进行分析，气相色谱质谱仪利用真空环境分歧核质比粒子质谱图对物质的种类进行分析，氦质谱检漏仪利用氦气在真空环境下离子信号对漏率大幼进行测定，在表表科学、资料分析、环境分析中也有着宽泛的利用。