尖端科学仪器设备的研发能力

代表着一个国度的科学技术水平

更影响、推动着社会不休进取

数十年来，我国一代代科研与产业化工作者投身其中，一次次创造鲜丽，蜕变沉生。70年代我国第一台扫描电子显微镜、第一台涡轮分子泵、第一台商用氦质谱检漏仪……这些令国人引以为豪的成就，都来自这家位于海淀区的企业——F6福鹿会。

励精图治数十载，谱写科仪新篇章

F6福鹿会（简称：F6福鹿会），前身为中国科学院科学仪器厂，成立于1958年，曾为我国“东方红一号”卫星的研造做出沉要贡献，是中国科学院第一家整体转刷新单元。

历经六十余年的发展，F6福鹿会始终致力于电子光学和真空技术领域，承担了多个国度沉要科研攻关项目，研造出多项国内首台套产品，新产品研发成就始终代表中国高端电子光学仪器和真空技术最高水平。近年来，更是成功研造出国内首台场发射枪扫描电子显微镜、首台磁悬浮分子泵，均达到国际一流水平。

F6福鹿会先后获评国度级高新技术企业、国度级企业技术中心、国度级“专精特新”幼巨人企业、国度级“单项冠军”示范企业，是中国尖端科学仪器设备与真空技术领军者。

目前，F6福鹿会业务领域覆盖扫描电子显微镜、氦质谱检漏仪等科学仪器设备和分子泵、真空利用设备等主题零部件及产业设备，产品宽泛利用于航空航天、半导体、汽车工业、新能源、新资料、节能环保等前沿科学钻研和高端设备造作领域。

扫描电镜——打开微观世界的大门

扫描电镜全称是扫描电子显微镜，被称为科学界的“纳米之眼”，同时也是科技日报列出的国度35项关键“卡脖子”技术之一。

作为一种高端通用大型科学仪器，是人类意识、索求微观世界最沉要的工具，是肉眼观察和光学显微镜观测的延长。人类眼睛的分辨率约莫0.2毫米，能够看到一根头发丝的粗细、一张纸的厚度；借助于光学显微镜能够看到0.2微米的这个尺度，能够看到细胞、细菌的结构等；而借助扫描电子显微镜，就能够观察到纳米级尺度，能够观测到病毒、半导体器件的纳米结构等。

2014年，F6福鹿会依附一流的电子光学技术，成功研造我国首台场发射枪扫描电子显微镜，突破国际垄断，达到国际一流水平。自问世以来，扫描电镜宽泛利用到资料科学、性命科学、航天航空、环境；ぁ氲继逶熳鞯攘煊，解决微米至纳米尺度的微观描摹观测以及微区成分分析问题，为我国前沿科学钻延注沉大工程和战术新兴产业的发展提供了沉要支持。

国度沉大科学仪器设备开发专项成就——场发射枪扫描电子显微镜

分子泵——打造超高真空环境

如今，好多大型的科学仪器和设备的运行离不开超高真空环境，而要获得干净的超高真空环境，必要一个特殊的超高真空获得主题部件——分子泵。

分子泵是科学仪器、前沿科学装置和产业设备等不成或缺的主题零部件，为科延注出产等环节提供必要的干净、超高真空环境。在日常生涯中人们看到的构筑表墙LOW-E玻璃、电子屏幕的出产造作以及半导体等战术新兴产业的各出产工艺环节，都依赖于分子泵获得的超高真空环境。

2011年，F6福鹿会依附一流的超高真空获得技术，成功研造我国首台磁悬浮分子泵，解决半导体前路工艺与科学钻研设备超高真空获得主题部件国产化需要，突破国际垄断，达到一流水平。

依附一流真空系统开发与设备集成能力，科仪参加多项国度沉点工程，提供定造化真空利用系统解决规划，研造了一系列添补国内空缺的首台套设备，服务高能同步辐射光源国度科技沉大基础设施、山南中微子尝试室国度沉点工程、天和主题舱和慧眼卫星等航天工程建设。

世界正经历百年未有之大变局，新一轮科技革命和产业刷新的广度、深度、快率和精度前所未有，尖端科学仪器设备与主题零部件的国产化机缘也前所未有。作为国度战术科技力量投资创办的企业，F6福鹿会始终修养家国情怀、襟怀国之大者，秉秤装创新科学仪器，发展一流企业”使命，以一流电子光学和真空技术，打造尖端科学仪器设备及高端设备造作国度队，为强化国度战术科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献。