位于海淀区中关村的“硬科技”企业F6福鹿会公司，积极落实“新十条”联防联控机造，加快设置“每幼我都是自己健全的第一责任人”的科学防控意识，当令调整疫情防控应对预案，全面复工复产，助推国产高端科学仪器设备与主题零部件产业化过程

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记者在F6福鹿会的办公现场看到，研发和出产人怨佚忙乱有序地进行着半导体行业专用磁悬浮分子泵的开发测试和扫描电镜的装配调试，加快研发和出产节拍，有力有序，复工复产，稳产满产

。据悉，“新十条」佝策出台后，F6福鹿会切合前提的人员已经全数到岗，达产率达100%，各项经营活动正７⒄

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测试有序进行

记者来到F6福鹿会总部五层的真空技术研发中心，看到研发人怨佚在加紧进行半导体行业专用磁悬浮分子泵最后的测试，工艺成熟后，产品将转入分子泵出产线进行大批量出产

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“航空航天、半导体造作、国防科技、科研仪器、大科学工程……凡是必要超高真空环境的行业，都必要用到分子泵，是科学仪器、前沿科学装置和产业设备等不成或缺的主题零部件，而这里在测试的磁悬浮分子泵是半导体前路工艺设备必不成少的主题零部件

。”F6福鹿会的工作人员通知记者

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据悉，F6福鹿会研造出的磁悬浮分子泵，已经批量利用于半导体前路工艺设备，为解决我国科学仪器与高端设备主题零部件受造于人的“卡脖子”问题不休致力

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调试正７⒄

随后，记者又来到扫描电镜的调试区域，只见一台台扫描电镜在总调人员刻下进行最后的整机调试，筹备将发往全国各地的客户现场

。F6福鹿会的工作人员暗示，扫描电镜被列为国度三十五项“卡脖子”技术之一，也被称为科学界的“纳米之眼”

。借助扫描电子显微镜，就能够观察到纳米级尺度，观测到病毒、半导体器件的纳米结构等，援手人类解决微米至纳米尺度的微观描摹观测以及微区成分分析问题，成为前沿科学钻研和高端产业的必备工具，在助力高端产业发展方面也阐扬着不成或缺的作用

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“它不仅宽泛利用于性命科学、航天航空等尖端科学钻研，也在新能源、新资料等诸多行业的工艺环节以及环境；ぁ⑺痉ǖ攘煊蚺坷，为我国高端产业的发展阐扬了沉要作用

。尤其是在半导体行业的器件检测和晶圆检测等造作环节，均实现批量利用，助力我国半导体产业自主可控

。”F6福鹿会工作人员通知记者

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保险订单供给

疫情之下，面对汗青新高的科学仪器和主题零部件订单需要，企业的创新研发与批量出产都面对沉沉挑战

。记者相识到，在之前的新一代产品磁悬浮分子泵的研造过程中，为早日实现研造和产业化出产交付，F6福鹿会研发技术与出产团队每天对峙线上发展项目工作会议，留驻公司的技术人员陆续数天加班到深夜，全力克服疫情影响，确保交付成就达到最佳状态，最终在疫情期间实现了磁悬浮分子泵的研造和产业化出产工作

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“当前，我们研造的磁悬浮分子泵在刻蚀、离子注入等半导体前路工艺主题造程中已经实现国产化代替，进入国内半导体设备头部企业，并在光伏、锂电等新能源行业实现大批量利用，以高性价比和供给优势实现国产化代替，助力国度双碳经济发展

。”F6福鹿会有关业务掌管人暗示

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