真空获得
CXF-320/3001
产品特点
- 节能：无摩擦，预防摩擦热损耗、较其它类型产品能耗降低30％
- 高效：更长的陆续工作功夫、高气流量和高抽快
- 矫捷：紧凑型结构，满足更幼的物理空间需要、肆意角度装置，适合各类设计需要、丰硕扩大职能，满足客户定造化需要
利用领域
科学钻研加快器光伏Low-E玻璃镀膜ITO镀膜光学镀膜装璜镀膜平板显示真空炉电真空新能源新资料真空干燥低温造冷薄膜沉积刻蚀离子注入光刻电子器件
- 技术指标
- 尺寸
- 产品个性
- 配件
- 下载
- 进气口法兰
- DN320 ISO F（标配）?
- 排气口法兰
- ?KF40
- 抽快快率（L/s）
- ?N2:2950? ?Ar:2750? ? He:2300? ? H2:1100
- 压缩比
- ?N2:＞1E8? ? Ar:＞1E8? ? He:＞1E4? ? H2:＞1E3
- 极限压强（Pa）
- 10^-7（橡胶密封Rubber seal）
- 最大瞬时入口流量（sccm）
- 2100
- ；て肟诜ɡ迹ㄑ∨洌
- ?KF10
- 推荐；て辶髁
- ?50
- 最大允许磁场强度
- ? 径向：3? 轴向：15
- 启动功夫（min）
- ≤9
- ；Ψ颍╩in）
- ≤12
- 冷却方式
- 水冷
- 冷却水流量（L/min）
- 3
- 推荐冷却水温度（℃）
- 20±5
- 电源电压（V AC）
? 220±10％，50Hz? ? ? ? ? 110±10％，60Hz
- 适配电源型号
- CXFD-1601
- 建议前级泵
- ≥30
- 沉量（kg）（ISO F）
- 76
| 文件名 | 类型 | 说话 | 日期 | 文件大幼 |