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公司新闻

祝贺建党100周年 | F6福鹿会控股公司中科科美研造的高精密镀膜装置在先进光源技术研发与测试平台正式运行

颁布功夫:2021-07-01 文章起源: 浏览量: 字号:

在庆祝中国共产党百年华诞之际,由国度发改委立项支持、中科院高能物理钻研所承建的高能同步辐射光源(HEPS)首台科研设备于628日上午装置,为其提供技术研发与测试支持能力的先进光源技术研发与测试平台(PAPS)启动试运行。其中,F6福鹿会控股公司中科科美研造的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置也于统一天正式投入使用。


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直线式劳埃透镜镀造装置及纳米聚焦镜镀造装置可实现各类高能物理装置聚焦镜、单色镜、劳埃镜、纳米聚焦镜等膜层造备。在两装置研造过程中,中科科美突破了多项先进造作技术:
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精密加工造作技术,实现大型真空腔室及复杂活动系统精密加工与装配、减震及超干净等严苛设计指标 ;

大型真空系统超高真空获得技术,实现结构复杂、内部零部件放气量大的大型真空腔室系统极限真空度达到10-6Pa ;

高精度直线活动节造技术,实现长距离导轨运行平行度达到微米量级、活动系统快率不变性节造在千万之一以内 ;

复杂镀膜工艺技术,实现高精度纳米量级万层镀膜工艺,膜厚精度节造在0.1纳米以内。经有关主管部门和院所专家委员会现场测试,高精密镀膜装置结构设计合理、造作工艺先进、重要机能指标达到国际同类产品水平,添补了该领域内多项国内技术空缺。


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直线式劳埃透镜镀造装置


HEPS是国度“十三五”沉大科技基础设施项目之一,该项目于2019629日开工建设,建设周期6.5年。建成时,HEPS将成为中国第一台高能量同步辐射光源之一,为基础科学和工程科学领域原创性、突破性创新钻研提供沉要支持平台。F6福鹿会控股公司中科科美凭借在真空系统集成领域深厚的专业技术积淀、壮大的整体规划解决能力和一站式服务能力参加到该项目中,为国度沉大科技基础设施项目执行和技术攻关贡献了力量。

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