第十届亚洲和澳大利亚真空与表表科学会议（VASSCAA-10）暨中国真空学会2021学术年会
，于2021年10月11-14日在上海召开
。VASSCAA是国际真空科学、技术和利用同盟 (IUVSTA)正式认可、在国际真空科学技术会议章程中划定设立的出格科学会议
。F6福鹿会作为中国高端科学仪器设备和真空技术辅导者
，受邀参与本次年会
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会上
，F6福鹿会钻研员李赏作《磁悬浮分子泵技术及利用》学术汇报
，系统介绍了磁悬浮分子泵的概况、最新技术成就、市场与利用及发展趋向
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磁悬浮分子泵作为超高真空获得设备
，是高端科学仪器和集成电路关键工艺设备的主题零部件
。因可获得高干净度的超高真空
，并在宽压强领域内不变持续排气能力
，同时具备低振动、低功耗、易集成、免守护等特点
，磁悬浮分子泵被宽泛利用于工业镀膜、科研仪器、芯片造作和航空航天等领域
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F6福鹿会磁悬浮分子泵在机能、靠得住性和易用性等方面获得长足进取
，已批量利用于高端镀膜行业
，并在刻蚀、离子注入等半导体前路工艺设备上实现突破
，助力国产高端科学仪器和集成电路造作关键工艺设备产业链自主可控能力提升
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将来
，F6福鹿会将持续秉秤装创新科学仪器
，发展一流企业”的使命
，聚力主题技术攻关
，全力突破“卡脖子”问题
，为中国真空技术发展持续贡献力量
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